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硅铝靶材供应商

文章来源:/supply/20.html发表时间:2018/10/19 0:00:00

硅铝靶材供应商


靶材性能与要求
靶材质量直接影响着薄膜的物理、外观、力学等性能,因而对靶材质量的评判较为严格,主要应满足以下要求:杂质及氧含量低、纯度高;致密度高;成分与结构均匀;晶粒尺寸细小。
2.3劣质靶材缺陷
a)为熔炼铬靶烧蚀后靶面情况
b)靶面有凹痕为引弧针安装不当导致的
c)水晶镀膜靶材密度不够,烧蚀后区别
d)等离子喷涂氧化钛旋转管靶不良



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