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溅射靶材厂家讲述注意事项

发布时间:2018-11-08  来源: /news/39.html
      溅射靶材厂家讲述注意事项

      溅射靶材在使用过程中是有一些较高的要求的,不仅要求纯度、尺寸,甚至还有晶粒尺寸均匀性等,这些高要求使得我们在使用溅射靶材时更加要注意。溅射靶材厂家讲述溅射靶材在使用过程中的几点注意事项。

      一、溅射准备,  保持真空腔体尤其是溅射系统洁净是非常重要的。任何由润滑油和灰尘以及前期镀膜所形成的残留物会收集水气及其他污染物,直接影响真空度获得和增加成膜失败的可能性。短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。 为保持镀膜的成分特性,溅射气体(氩气或氧气)必须清洁并干燥,溅镀腔内装入基材后便需将空气抽出,达到工艺所要求的真空度。
      二、靶材清洁,靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。
      三、靶材安装,靶材安装过程中最重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射枪冷却壁之间建立很好的导热连接。如果用冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲,背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响,导致在溅射过程中热量无法散发最终会造成靶材开裂或脱靶。
      四、短路及密封性检查,靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象。

      相信大家对于溅射靶材厂家讲述的几点使用事项之后,对于溅射靶材的使用也有了一些新的认知。

      航天长征睿特科技有限公司特种金属材料及工艺事业部,是在航天用粉末冶金产品的研究成果和生产技术的基础上,成立的专业从事溅射靶材研发和生产的高新技术单位,可以为广大客户提供质量稳定、成分多样、规格系列化的溅射靶材产品,且可以按照客户的要求生产各种靶材并提供靶材绑定服务。欢迎大家咨询。

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