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天津硅铝靶材厂家哪家好

发布时间:2018-11-06  来源: /news/38.html
      天津硅铝靶材厂家哪家好

      靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材大致分为以下种类:金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材,氮化物陶瓷溅射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材,硅化物陶瓷溅射靶材,硫化物陶瓷溅射靶材,碲化物陶瓷溅射靶材,其他陶瓷靶材。靶材对金属纯度要求极高,尤其是半导体行业,达到了5N(99.999%)以上。因此靶材质量的影响决定了其下游产品的良率及成本,其质量越高,下游行业的成本越低,效率越高。“靶材”通过“真空蒸发 ”、“磁控溅射”、“多弧离子镀”等各种物理气相沉积方式。在适当工艺条件(例如,真空环境)下使“靶材”蒸发,并使被蒸发物质与气体都发生“电离”。利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物“沉积”在工件上,形成各种具有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的薄膜“镀层”。

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