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天津金属靶材生产有哪些制备方法

发布时间:2018-10-25  来源: /news/33.html

       天津金属靶材生产有哪些制备方法

       大家都知道,靶材材料的技术发展趋势与靶材的制备发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。下面就跟着小编一起来了解一下靶材的制备方法吧!


       
       1、先用化学方法制成铟锡氧化物化学复合粉末,或者将单体氧化铟粉末和单体氧化锡粉末按9: 1质量比混合,制成机械复合粉末。粉末呈球形或准球形,平均粒径为30 ~ 200nm,纯度为99%,无硬团聚。
       2、将复合粉末在1 350℃氧气氛中进行脱氧处理。
       3、把复合粉末装入包套内进行冷等静压。冷等静压介质为油,压力为200~280MPa,保压时间为10min。获得的粗坯密度为理论密度的45%~55%。
       4、粗坯装入相应尺寸的容器内。容器与粗坯间隔以金属钽膜或镍膜或铌膜或铂膜,以阻止它们在高温高压下发生反应
       5、抽真空,封装有粗坯的容器。
       6、将上述容器放入热等静压炉中进行热等静压处理。热等静压温度为1 100~1 300℃,保温时间为0.5~6h,氩气氛压力为100~120MPa。
       7、热等静压后用稀硝酸酸洗去除碳钢容器,剥离金属箔隔层,获得靶材。
       8、用线切割方法切割靶材,获得所需尺寸的产品。
       专业的金属靶材就来陆航伟业!,专业的选择!


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